草木金黄，秋意渐浓，8月30日，上海芯源微全体员工齐聚飞渡路厂区，公司CTO、副总裁陈兴隆代表集团高管参加此次活动。现场礼炮齐鸣，喜气盈盈，大家共同见证了上海芯源微首台化学清洗机KS-CM300机台顺利启运出厂。

      KS-CM300单片式化学清洗机是上海芯源微自主研发的首款高端设备，适用于 Pre-deposition、Post-thinfilm、Post-etch、Post-imp、Post-CMP、PR-strip、NiPt remove等多种工艺，机台所用高温SPM清洗工艺被业界公认为28nm/14nm制程性能要求最高的工艺之一，也是业内最具难度和挑战的湿法工艺。公司研发的该款设备有望打破国外龙头对高温硫酸清洗技术的绝对垄断，机台性能及工艺技术致力于达到国际先进水平，能够实现26纳米以下少于30个剩余颗粒的处理，在连续跑片十万片条件下，可满足客户Up-Time≥95%、刻蚀均一性≤2%等严苛性要求，其研发与验证有望解决国内客户在该领域受制于人的不利局面，对推动国产高端半导体清洗装备自主可控具有重要战略意义，也是公司拓展前道化学清洗领域的里程碑事件。

      仪式在上午10时18分正式开始。上海芯源微化学清洗部总监彭博发表了激情洋溢的讲话。他回顾了三年多来化学清洗机从无到有、从概念到实体的研发历程，他表示，产品的出厂只是征程的开始，真正的考验还在后面的产品验证阶段，团队将继续团结协作、精益求精，确保产品能够满足甚至超越用户的期望。

      上海芯源微董事长崔晓微发表讲话，她对团队的辛勤付出和取得卓越成果给予肯定，并特别强调了化学清洗机在公司发展中的重要性。崔总鼓励团队继续保持严谨、细致的工作态度，确保出厂的每一台化学清洗机都能达到最佳的性能状态，用实际行动证明，芯源微的化学清洗机是经得起市场考验的，是值得客户信赖的。

      随着一阵激昂的鼓声响起，礼花在空中绽放，车辆缓缓开动，上海芯源微首台化学清洗机在全体员工的瞩目下正式启运。现场热烈的掌声和欢呼声，为这一重要时刻铭记下属于全体芯源人的宝贵记忆。

      众心合一，众志成城，上海芯源微将继续秉承为客户创造价值的使命，发扬工匠精神，持续潜心研发，不断探索创新，成就下一个新精彩、新辉煌！