公司前身沈阳芯源先进半导体技术有限公司设立。
2002
开辟8英寸凸点封装新领域，Track产品销售到国内最大封装厂江阴长电。
2005
国内首台先进封装领域用12英寸Track产品销售应用，实现了国产IC装备在晶片尺寸和新工艺上的重大突破。
2007
获批承担国家02重大科技专项“凸点封装涂胶显影、单片湿法刻蚀设备的开发与产业化”项目。
2008
芯源公司抓住LED产业大发展的机遇，产品成功占领国内LED市场。
2011
获批承担国家02重大专项“300mm晶圆匀胶显影设备研发”项目。
2012
芯源公司产品销售实现重大突破，先进封装领域用喷胶设备批量出口到台湾市场。
2013
芯源公司新厂房建成启用。新厂房建筑面积7300平方米，其中净化间和装配间2200平方米。
2013
芯源公司主持制定的行业标准《喷雾式涂覆设备通用规范》正式颁布实施。
2016
芯源公司第600台设备销售出厂。
2017
芯源公司第700台设备销售出厂。
公司开发的国内首台高产能前道Track设备“奉天一号”出厂进行工艺验证。
2019年12月16日，芯源微在上交所科创板上市，成为辽宁省“科创板第一股”
2019
2020年7月27日，芯源公司高端晶圆处理设备产业化项目开工
2020
芯源微上海子公司成立
公司第1000台设备销售出厂
芯源微沈阳彩云路厂区竣工投产
日本子公司成立
芯源微第2000台设备销售出厂
